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SFA系統主要由SFA、光源、光譜儀、攝像機和計算機組成，其系統組成如圖所示。當系統運行時，由光源發出的白光經過光學鏡組準直并過濾紅外后導入SFA 主體。進入SFA主腔體(Main chamber)的準直白光垂直入射到固定在表面基座中的兩個樣品表面上，并在樣品背面的兩個銀層之間發生多光束干涉。帶有表面間實時信息的透射光通過棱鏡導入光譜儀，并經過光柵分光后生成可視的 FECO條紋。光譜儀輸出的FECO條紋最后由攝像機拍攝并錄入計算機。品表面上，并在樣品背面的兩個銀層之間發生多光束干涉.帶有表面間實時信息的透射光通過棱鏡導入光譜儀，并經過光柵分光后生成可視的FeCo條紋.光譜儀輸出的FeCo條紋最后由攝像機拍攝并錄入計算機.
